十萬級無塵車間作用：
潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為「潔淨室」。

世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國製定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公製單位，潔淨室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5
、M3…..依此類推，配合國際公製單位之標準化，M字母後之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間，則以1.5
、2.5、3.5….表示。